一种硼扩散炉及其炉门

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201520844608.2
IPC分类号：C30B31/00;H01L31/18
申请日期：
2015-10-28
申请人：
英利能源（中国）有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种硼扩散炉及其炉门
申请号	CN201520844608.2	申请日期	2015-10-28
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B31/00 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B31/00 单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之扩散或掺杂工艺；其所用装置〔3，5〕	IPC分类号	C;3;0;B;3;1;/;0;0;;;H;0;1;L;3;1;/;1;8查看分类表>
申请人	英利能源（中国）有限公司	申请人地址	河北省保定市朝阳北大街3399号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	英利能源（中国）有限公司	当前权利人	英利能源（中国）有限公司
发明人	胡亚男;戎帅
代理机构	北京集佳知识产权代理有限公司	代理人	李海建

摘要

本实用新型公开了一种硼扩散炉的炉门，包括石英炉门本体，该炉门还包括与所述石英炉门本体的内端面相连，且在所述石英炉门本体关闭时嵌入炉管内的石英挡盘，所述石英挡盘的直径与所述炉管的直径相等。由于在石英炉门本体的内端面上设置了石英挡盘，该石英挡盘的直径与炉管的直径相等，并且在石英炉门本体关闭时该石英挡盘可以嵌入炉管内，因而该石英挡盘可以有效阻止炉管内的硼源与石英炉门本体接触，大部分的硼源将被石英挡盘阻挡在远离石英炉门本体的位置，这就减少了硼源与石英炉门本体发生的化学反应，延缓了石英炉门本体被腐蚀的速度，因此也就延长了炉门的使用寿命。本实用新型还公开了一种具有上述炉门的硼扩散炉。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供