一种硅光子晶体波导器件的飞秒激光制备系统及方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201810959059.1
IPC分类号：G02B6/00;B23K26/064;B23K26/362;B23K26/70
申请日期：
2018-08-22
申请人：
湖北工业大学

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专利名称	一种硅光子晶体波导器件的飞秒激光制备系统及方法
申请号	CN201810959059.1	申请日期	2018-08-22
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2018-12-25	公开/公告号	CN109079318A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G02B6/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G02 光学 G02B 光学元件、系统或仪器（G02F优先；专用于照明装置或系统的光学元件入F21V 1/00至F21V 13/00；测量仪器见G01类的有关小类，例如，光学测距仪入G01C；光学元件、系统或仪器的测试入G01M 11/00；眼镜入G02C；摄影、放映或观看用的装置或设备入G03B；声透镜入G10K 11/30；电子和离子“光学”入H01J；X射线“光学”入H01J，H05G 1/00；结构上与放电管相组合的光学元件入H01J 5/16，H01J 29/89，H01J 37/22；微波“光学”入H01Q；光学元件与电视接收机的组合装置入H04N 5/72；彩色电视系统中的光学系统或装置入H04N 9/00；专门适用于透明或反射区的加热装置入H05B 3/84）〔1，7〕 G02B6/00 光导；包含光导和其他光学元件（如耦合器）的装置的结构零部件〔4，6〕	IPC分类号	G;0;2;B;6;/;0;0;;;B;2;3;K;2;6;/;0;6;4;;;B;2;3;K;2;6;/;3;6;2;;;B;2;3;K;2;6;/;7;0查看分类表>
申请人	湖北工业大学	申请人地址	湖北省武汉市武昌区南湖李家墩1村1号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	湖北工业大学	当前权利人	湖北工业大学
发明人	陶青;陈克楠;刘顿;陈列;娄德元;杨奇彪;翟中生;郑重
代理机构	武汉科皓知识产权代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	魏波

摘要

本发明公开了一种硅光子晶体波导器件的飞秒激光制备系统及方法，系统包括飞秒激光器、多级半波片、偏振分光棱镜、第一反射镜、空间光调制器、第一透镜、第二反射镜、第三反射镜、第二透镜、电动翻转镜、第四反射镜、高倍物镜、三维加工平台、第三透镜、CCD相机、计算机；由飞秒激光器输出的激光通过多级半波片和偏振分光棱镜，经过反射镜射入空间光调制器；用计算机将加工方案生成全息图，加载到空间光调制器；光束经调制后通过第一透镜、第二反射镜、第三反射镜、第二透镜、第四反射镜，再经过高倍物镜聚焦到硅基片上，通过输入到计算机内的程序控制三维加工平台移动，完成加工任务。本发明加工步骤简易，加工精度高，加工速度快，加工成本低。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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