利用光纤光栅的光纤干涉型在线微位移测量系统

发明专利无效专利

申请号：
CN200710063770.0
IPC分类号：G01B11/02;G01B9/02;G01D5/353
申请日期：
2007-02-09
申请人：
北京交通大学

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著录项信息

专利名称	利用光纤光栅的光纤干涉型在线微位移测量系统
申请号	CN200710063770.0	申请日期	2007-02-09
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2007-08-08	公开/公告号	CN101013025
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/02 用于计量长度、宽度或厚度（G01B 11/08优先）	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;0;2;;;G;0;1;B;9;/;0;2;;;G;0;1;D;5;/;3;5;3查看分类表>
申请人	北京交通大学	申请人地址	北京市西直门外上园村3号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京交通大学	当前权利人	北京交通大学
发明人	谢芳;芦毅
代理机构	北京市商泰律师事务所	代理人	吴克宇;毛燕生

摘要

本发明公开了一种微位移测量系统，特别是一种适用于在线测量的微位移测量系统。利用光纤光栅特性和波分复用技术构成光纤复合迈克尔逊干涉仪，该干涉仪包含二个反射镜独立但光路几乎重合的光纤迈克尔逊干涉仪。一个干涉仪用于测量，另一干涉仪经反馈控制以补偿由于环境干扰给测量带来的影响，从而使系统适用于在线测量。本发明只用一只谱宽为1.5nm中心波长为1550nm的半导体激光器发出的光同时作用于两个干涉仪中，这不仅使系统成本低，方便实现自动测量，而且反馈控制电路对压电陶瓷的放电不对测量产生影响，使测量能连续进行。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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