直拉式单晶炉中晶体与熔硅液面熔接状态自动检测装置

实用新型专利无效专利

申请号：
CN200820166558.7
IPC分类号：C30B15/20
申请日期：
2008-10-30
申请人：
上虞晶盛机电工程有限公司;杭州慧翔电液技术开发有限公司

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专利名称	直拉式单晶炉中晶体与熔硅液面熔接状态自动检测装置
申请号	CN200820166558.7	申请日期	2008-10-30
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B15/20 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B15/00 熔融液提拉法的单晶生长，例如Czochralski法（在保护流体下的入C30B 27/00）〔3〕 C30B15/20 控制或调节（一般的控制或调节入G05）〔3〕	IPC分类号	C;3;0;B;1;5;/;2;0查看分类表>
申请人	上虞晶盛机电工程有限公司;杭州慧翔电液技术开发有限公司	申请人地址	变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	杭州慧翔电液技术开发有限公司,浙江晶盛机电股份有限公司	当前权利人	杭州慧翔电液技术开发有限公司,浙江晶盛机电股份有限公司
发明人	张俊;邱敏秀
代理机构	杭州中成专利事务所有限公司	代理人	唐银益

摘要

本实用新型涉及一种直拉式单晶生产技术，旨在提供一种直拉式单晶炉中晶体与熔硅液面熔接状态自动检测装置。该装置包括滑轮、引出导线、外层包覆绝缘材料的缆索管、钢丝绳、金属材质的籽晶夹头、石英坩埚、石墨坩埚、导电材料的坩埚托杆和引出导线；钢丝绳、滑轮、炉体与检测报警电路构成一个回路。本实用新型可自动检测晶体与液面的熔接状态和判断熔接时刻；防止人为原因引起的籽晶过降导致的籽晶夹头熔化事故；可全程实时监测晶体与液面熔接状态，及时产生脱离液面报警；降低劳动强度，提高直拉式单晶炉的自动化程度，为全自动单晶炉设计解决了关键技术。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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