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搬送装置和搬送方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200780003869.X
  • IPC分类号:H01L21/677;B25J13/00
  • 申请日期:
    2007-01-22
  • 申请人:
    琳得科株式会社
著录项信息
专利名称搬送装置和搬送方法
申请号CN200780003869.X申请日期2007-01-22
法律状态撤回申报国家暂无
公开/公告日2009-02-25公开/公告号CN101375386
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/677IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7;7;;;B;2;5;J;1;3;/;0;0查看分类表>
申请人琳得科株式会社申请人地址
日本国东京都 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人琳得科株式会社当前权利人琳得科株式会社
发明人野中英明;中田干
代理机构上海恩田旭诚知识产权代理有限公司代理人丁国芳
摘要
本发明涉及一种搬送装置(10),该搬送装置(10)由多关节型机械手构成,该多关节型机械手具备第一~第六臂(15A~15F),并对各臂进行数控,该搬送装置(10)的自由端侧设置有用于吸附保持半导体晶片(W)的吸附臂(12)。吸附臂(12)前端侧具备吸附部(12C),设置成可通过臂(15A~15F)沿正交三轴(X、Y、Z轴)方向移动,并可在相对于虚拟平面(S)倾斜的方向上旋转。因此,即使半导体晶片(W)相对于虚拟平面(S)倾斜,也能够通过吸附臂(12)的角度位移,使吸附部(12C)与半导体晶片(W)完全接触。

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