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一种热丝CVD沉积系统的丝架结构

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN201620591954.9
  • IPC分类号:C23C16/27
  • 申请日期:
    2016-06-17
  • 申请人:
    洛阳奥尔材料科技有限公司
著录项信息
专利名称一种热丝CVD沉积系统的丝架结构
申请号CN201620591954.9申请日期2016-06-17
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/27IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;2;7查看分类表>
申请人洛阳奥尔材料科技有限公司申请人地址
河南省洛阳市涧西区浅井头一街坊7幢2-402室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人洛阳奥尔材料科技有限公司当前权利人洛阳奥尔材料科技有限公司
发明人邹杨;孙蕾;杨宜珍;邹松东;孙凌
代理机构洛阳市凯旋专利事务所代理人陆君
摘要
一种热丝CVD沉积系统的丝架结构,涉及一种丝架结构,包括固定钽丝杆A(1)、支撑架(2)、钽丝(3)、固定钽丝杆B(5)和丝架固定杆(4),在平行间隔设置的两根竖向支撑架(2)之间的两端分别设有固定钽丝杆A(1)和固定钽丝杆B(5),在固定钽丝杆B(5)的外侧设有拉簧固定组件(7),多根钽丝(3)的一端均布在固定钽丝杆A(1)上,多根钽丝(3)的另一端分别穿过固定钽丝杆B(5)后与拉簧固定组件(7)上设置的多根耐高温拉簧(6)固定连接;本实用新型通过将热丝架设置为竖直安装的方式,实现了热丝不下垂,基片台温场均匀的目的。

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