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一种旋转靶材的垂直绑定装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201921290902.8
  • IPC分类号:C23C14/34;B23K1/00
  • 申请日期:
    2019-08-13
  • 申请人:
    北京航大微纳科技有限公司
著录项信息
专利名称一种旋转靶材的垂直绑定装置
申请号CN201921290902.8申请日期2019-08-13
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/34IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;3;4;;;B;2;3;K;1;/;0;0查看分类表>
申请人北京航大微纳科技有限公司申请人地址
北京市海淀区学院路35号世宁大厦14层1408-036号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人北京航大微纳科技有限公司当前权利人北京航大微纳科技有限公司
发明人高明;张花蕊;张虎;陈浩杰
代理机构暂无代理人暂无
摘要
本实用新型涉及一种旋转靶材的垂直绑定装置,包括衬管(1)、分段套设在衬管(1)上的至少两个靶管(2)、所述衬管(1)内设有内加热装置(3),所述靶管(2)外设有外加热装置(4);其特征在于:所述内加热装置(3)沿所述衬管(1)的延伸方向分为独立控制的多个加热段(31),所述加热段(31)与所述靶管(2)一一对应设置;所述外加热装置(4)与所述靶管(2)一一对应设置,每个所述外加热装置(4)均为独立控制。本实用新型的绑定装置能够防止焊料在绑定过程中冲破密封装置。

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