一种高温型气体质量流量控制器用传感器

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201920065943.0
IPC分类号：G01F1/699;G01F15/14
申请日期：
2019-01-15
申请人：
山西仁荷微电子科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种高温型气体质量流量控制器用传感器
申请号	CN201920065943.0	申请日期	2019-01-15
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01F1/699 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01F 容积、流量、质量流量或液位的测量；按容积进行测量〔2，5〕 G01F1/00 测量连续通过仪表的流体或流动固体材料的流量或质量流量（测量流量比例入G01F 5/00）〔2〕 G01F1/68 应用热效应〔2〕 G01F1/696 其电路，例如恒流流量计〔6〕 G01F1/698 反馈或再平衡电路，例如，自加热恒温流量计〔6〕 G01F1/699 通过对单独的加热或冷却元件的控制〔6〕	IPC分类号	G;0;1;F;1;/;6;9;9;;;G;0;1;F;1;5;/;1;4查看分类表>
申请人	山西仁荷微电子科技有限公司	申请人地址	山西省晋中市山西示范区晋中开发区汇通产业园区迎宾西街和田商务大厦十一层1101、1102、1103、1105、1106、1107、1111、1112室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	山西仁荷微电子科技有限公司	当前权利人	山西仁荷微电子科技有限公司
发明人	刘志新
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本实用新型公开了一种高温型气体质量流量控制器用传感器，包括阀体，阀体的上表面设置有传感器固定板和流量调节阀固定板，传感器固定板上设置有传感器，传感器包括上壳体、下壳体、第一气体接头、第二气体接头、第一连接管体、第二连接管体、毛细管、热敏电阻丝和精密电阻，下壳体位于传感器固定板的上表面的中端。本实用新型高温型气体质量流量控制器用传感器，上壳体和下壳体通过螺栓连接，采用耐高温的不锈钢螺栓进行机械固定，安装可靠，不易损坏，不锈钢材质制成的上壳体、下壳体和毛细管，具有耐腐蚀、耐热和焊接性的特点，环境温度可达100摄氏度，最大设计温度120摄氏度，采用毛细管焊接工艺，整体耐高压抗腐蚀，稳定性强。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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