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活塞气缸减振机构

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN200720074739.2
  • IPC分类号:F16F15/023;B41B17/18;G03F7/20
  • 申请日期:
    2007-09-17
  • 申请人:
    上海微电子装备有限公司
著录项信息
专利名称活塞气缸减振机构
申请号CN200720074739.2申请日期2007-09-17
法律状态放弃专利权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号F16F15/023IPC分类号F;1;6;F;1;5;/;0;2;3;;;B;4;1;B;1;7;/;1;8;;;G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人上海微电子装备有限公司申请人地址
上海市张江高科技园区张东路1525号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海微电子装备有限公司当前权利人上海微电子装备有限公司
发明人周宏权;严天宏;袁志扬
代理机构上海思微知识产权代理事务所代理人屈蘅;李时云
摘要
本实用新型提供一种活塞气缸减振机构,其包括一第一气缸以及与所述第一气缸相互咬合的第一活塞,所述第一活塞可以在所述第一气缸腔体内部活动;所述活塞气缸减振机构还包括一设置于所述第一气缸腔体内并位于第一气缸以及第一活塞之间的偏摆机构,其中,所述活塞气缸减振机构的偏摆机构进一步包括一个第二气缸和一个柔性活塞长杆,所述第二气缸装配在第一活塞上或装配在第一气缸腔体内壁上,所述柔性活塞长杆一端置于第二气缸内并与第二气缸相互咬合且可在第二气缸腔体内活动,另一端与第二气缸相对应的装配在第一气缸腔体内壁上或装配在第一活塞上。本实用新型的活塞气缸减振机构可实现两自由度方向的减振,组合使用还可实现六自由度方向的减振。

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