转台轴线方向位移测量装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202020790141.9
IPC分类号：G01B11/02
申请日期：
2020-05-13
申请人：
上海机电工程研究所;北京理工大学;北方工业大学

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著录项信息

专利名称	转台轴线方向位移测量装置
申请号	CN202020790141.9	申请日期	2020-05-13
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/02 用于计量长度、宽度或厚度（G01B 11/08优先）	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;0;2查看分类表>
申请人	上海机电工程研究所;北京理工大学;北方工业大学	申请人地址	上海市闵行区元江路3888号（八部）变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海机电工程研究所,北京理工大学,北方工业大学	当前权利人	上海机电工程研究所,北京理工大学,北方工业大学
发明人	李艳红;柴娟芳;赵吕懿;沈涛;朱炜;陈强华;刘斌超;荆娜;张琰;冯晓晨;田义;杨扬;周麟
代理机构	上海汉声知识产权代理有限公司	代理人	胡晶

摘要

本实用新型提供了一种转台轴线方向位移测量装置,包括双频激光头100、分光组件200、干涉光路组件300、检测系统400、转台反射件510、转台520、支撑平台540、缩束组件700以及光隔离组件800，转台520为待测量件，转台反射件510设置在转台520上，双频激光头100、分光组件200、干涉光路组件300、缩束组件700以及光隔离组件800均安装在支撑平台540上。本实用新型容易实现共光路结构，使测量系统具有很好的抗干扰性与稳定性，实现了光隔离的功能，有效防止回授光带来的双频激光头失稳，相位传感器没有读数的问题；本实用新型可获得更高的测量精度，适合五轴转台的现场校准需求。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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该专利没有被任何外部专利所引用！

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