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用于涡电流终点检测的抛光垫

发明专利无效专利

申请号：
CN201610638561.3
IPC分类号：B24B37/24
申请日期：
2011-09-28
申请人：
内克斯普拉纳公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	用于涡电流终点检测的抛光垫
申请号	CN201610638561.3	申请日期	2011-09-28
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2016-12-21	公开/公告号	CN106239354A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B24B37/24 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B24 磨削；抛光 B24B 用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F 3/00）；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给 B24B37/00 研磨机床或装置；附件（B24B 3/00优先） B24B37/11 研具〔2012.01〕 B24B37/20 用于加工平面的研磨垫〔2012.01〕 B24B37/24 以垫的材料成分或特性为特征〔2012.01〕	IPC分类号	B;2;4;B;3;7;/;2;4查看分类表>
申请人	内克斯普拉纳公司	申请人地址	美国伊利诺伊州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	嘉柏微电子材料股份公司	当前权利人	嘉柏微电子材料股份公司
发明人	W·C·阿里森;D·斯科特;P·黄;R·弗伦泽尔;A·W·辛普森
代理机构	北京市中咨律师事务所	代理人	暂无

摘要

本发明描述了用于利用涡电流终点检测来抛光半导体衬底的抛光垫。本发明还描述了制作用于利用涡电流终点检测来抛光半导体衬底的抛光垫的方法。

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