可实时测量的同步相移斐索干涉装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201210039555.8
IPC分类号：G01B9/02;G01B11/24
申请日期：
2012-02-21
申请人：
中国科学院西安光学精密机械研究所

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著录项信息

专利名称	可实时测量的同步相移斐索干涉装置
申请号	CN201210039555.8	申请日期	2012-02-21
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2012-07-18	公开/公告号	CN102589414A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B9/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B9/00 组中所列的及以采用光学测量方法为其特征的仪器（用于测量特定的参量的装置入G01B 11/00）〔2〕 G01B9/02 干涉仪	IPC分类号	G;0;1;B;9;/;0;2;;;G;0;1;B;1;1;/;2;4查看分类表>
申请人	中国科学院西安光学精密机械研究所	申请人地址	陕西省西安市高新区新型工业园信息大道17号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院西安光学精密机械研究所	当前权利人	中国科学院西安光学精密机械研究所
发明人	姚保利;郜鹏;闵俊伟;雷铭;严绍辉;杨延龙;叶彤
代理机构	西安智邦专利商标代理有限公司	代理人	徐平

摘要

本发明目的是提供一种能对物体表面形貌进行实时高精度测量的同步相移斐索干涉装置。本发明将同步相移技术和斐索干涉方法相结合，解决了传统干涉仪稳定性差、测量精度低、不能实时测量等技术问题。该可实时测量的同步相移斐索干涉装置包括照明单元、干涉单元、同步相移单元。本发明采用同轴干涉光路，充分利用了CCD的空间带宽积，与离轴光路相比具有更高的空间分辨率；本发明采用1/4波片代替传统斐索干涉仪中的玻璃平板，使得物光和参考光具有正交的偏振方向，在实现同步相移前提下保持装置结构的紧凑性；本发明通过一次曝光可以得到四幅相移干涉图样，在保证高空间分辨率的前提下，实现了测量的实时性。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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