无需打线接合的三维纳米管气体传感器阵列及其封装方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202010709098.3
IPC分类号：G01N27/00;B82Y15/00
申请日期：
2020-07-21
申请人：
艾感科技(广东)有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	无需打线接合的三维纳米管气体传感器阵列及其封装方法
申请号	CN202010709098.3	申请日期	2020-07-21
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2020-10-23	公开/公告号	CN111812155A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N27/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N27/00 用电、电化学或磁的方法测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 25/00优先；电或磁变量的测量或试验，材料的电磁性能的测试或试验入G01R）	IPC分类号	G;0;1;N;2;7;/;0;0;;;B;8;2;Y;1;5;/;0;0查看分类表>
申请人	艾感科技(广东)有限公司	申请人地址	广东省佛山市禅城区季华西路131号2#楼D座9层915室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	艾感科技(广东)有限公司	当前权利人	艾感科技(广东)有限公司
发明人	周清峰;沈国震
代理机构	北京海虹嘉诚知识产权代理有限公司	代理人	何志欣

摘要

本发明涉及一种无需打线接合的三维纳米管气体传感器阵列及其封装方法，所述方法包括：阳极氧化铝薄膜第一表面的至少一个第一电极与其第二表面的至少一个第二电极对应使得第一电极与第二电极之间的阳极氧化铝薄膜区域形成传感区域(S1)，设置在过孔第一端的所述第一电极的一端通过临近的过孔内的导电元件与过孔第二端的延伸电极(32)连接，从而使得三维纳米管基底第一表面的第一电极通过延伸电极与第二电极在三维纳米管基底第二表面进行共面设置，第一电极与延伸电极之间的过孔形成过孔区域。本发明避免打线接合，以实现三维纳米管结构的集成及上下电极的引出。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供