无尘室的监视装置以及无尘室的监视方法

1.一种无尘室的监视装置，是用于监视在地板部配置了能够取下的格栅的无尘室的内部的无尘室的监视装置，其特征在于，具备：
监视照相机，其拍摄所述格栅；
监视部，其根据利用所述监视照相机得到的图像信号来检测取下了所述格栅的开口部的有无，并在有开口部的情况下检测接近该开口部的作业人员的有无，并在检测到所述作业人员时输出警报信号；以及
警报发生单元，其从所述监视部接受所述警报信号，并发出警报。
2.根据权利要求1所述的无尘室的监视装置，其特征在于，
在设置在所述无尘室内的半导体制造装置上配设有多个所述监视照相机。
3.根据权利要求1所述的无尘室的监视装置，其特征在于，
所述警报发生单元通过光和声音发出警报。
4.根据权利要求1所述的无尘室的监视装置，其特征在于，
在设置在所述无尘室内的半导体制造装置上配设有多个所述警报发生单元。
5.一种无尘室的监视方法，是用于监视在地板部配置了能够取下的格栅的无尘室的内部的无尘室的监视方法，其特征在于，具备：
通过监视照相机拍摄所述格栅的拍摄工序；
根据在所述拍摄工序中得到的所述监视照相机的图像信号来检测取下了所述格栅的开口部的有无的开口部检测工序；
在所述开口部检测工序中检测到所述开口部的情况下，检测接近该开口部的作业人员的有无的监视工序；以及
在所述监视工序中检测到接近所述开口部的作业人员时发出警报的警报发生工序。

无尘室的监视装置以及无尘室的监视方法\n技术领域\n[0001] 本发明涉及无尘室的监视装置以及无尘室的监视方法。\n背景技术\n[0002] 以往以来，例如在用于制造半导体装置的半导体生产线中，多数的半导体制造装置被配设在环境洁净的无尘室内。在这样的无尘室中，在内部形成有从顶部朝向地板部流动的洁净空气的下降流，并利用该下降流的流动将无尘室内的尘埃排出至外部。\n[0003] 在这样的无尘室中，为了形成上述的下降流，在地板部分配设有具有许多的开口的格栅。另外，在格栅的下部配设有下降流流通的空间部。并且，能够取下格栅，在取下了格栅的状态下，作业人员能够进入格栅下部的空间部进行作业。\n[0004] 由于在如上述那样取下了格栅的情况下在地板部形成开口部，所以存在作业人员从该开口部坠入下部的危险性。因此，在取下了格栅时，在开口部的周围放置路桩，布置护栏带等来提醒作业人员注意。此外，作为用于防止从建筑工地等的开口部坠落的装置，例如，提出了开口部用挡脚板的支承装置等(例如参照专利文献1。)。\n[0005] 专利文献1：日本特开2010－126876号公报\n[0006] 如上述那样，以往，在无尘室内取下了格栅时，通过路桩、护栏带等提醒作业人员注意。然而，存在在取下了格栅时未迅速地进行路桩、护栏带等的设置，其结果作业人员未注意到开口部的存在，而从开口部坠落这样的事故发生的可能性。另外，即使设置了路桩、护栏带等，也存在作业人员未注意到路桩、护栏带的存在，而从开口部坠落这样的事故发生的可能性。\n发明内容\n[0007] 本发明是应对上述以往的情况而成的，目的在于提供一种能够防止作业人员从取下了格栅的开口部坠落的无尘室的监视装置以及无尘室的监视方法。\n[0008] 本发明的无尘室的监视装置是用于监视在地板部配置了能够取下的格栅的无尘室的内部的无尘室的监视装置，具备：监视照相机，其拍摄上述格栅；监视部，其根据来自上述监视照相机的图像信号来检测取下了上述格栅的开口部的有无，并在有开口部的情况下检测接近该开口部的作业人员的有无，并在检测到上述作业人员时输出警报信号；以及警报发生单元，其从上述监视部接受上述警报信号，并发出警报。\n[0009] 本发明的无尘室的监视方法的特征在于，该方法是用于监视在地板部配置了能够取下的格栅的无尘室的内部的无尘室的监视方法，具备：通过监视照相机拍摄上述格栅的拍摄工序；根据在上述拍摄工序中得到的上述监视照相机的图像信号来检测取下了上述格栅的开口部的有无的开口部检测工序；在上述开口部检测工序中检测到上述开口部的情况下，检测接近该开口部的作业人员的有无的监视工序；以及在上述监视工序中检测到接近上述开口部的作业人员时发出警报的警报发生工序。\n[0010] 根据本发明，能够提供一种能够防止作业人员从取下了格栅的开口部坠落的无尘室的监视装置以及无尘室的监视方法。\n附图说明\n[0011] 图1是表示本发明的一实施方式的无尘室的监视装置的概要结构的图。\n[0012] 图2是用于说明无尘室的监视装置的设置状态的例子的图。\n[0013] 图3是用于说明无尘室的监视装置的设置状态的例子的图。\n[0014] 图4是表示无尘室的监视动作的流程图。\n具体实施方式\n[0015] 以下，参照附图对本发明的无尘室的监视装置以及无尘室的监视方法的一实施方式进行说明。\n[0016] 图1是表示本发明的一实施方式所涉及的无尘室的监视装置的概要结构的框图。\n如图1所示，无尘室的监视装置100具备由计算机等构成的监视部101、由数码照相机等构成的监视照相机102、以及通过光以及警报声等发生警报的警报发生部103。其中，警报发生部\n103例如具备旋转灯和发生警报声的扬声器等。\n[0017] 如图2所示，监视照相机102例如被安装于配设在无尘室内的半导体制造装置110的顶部等，能够从上方拍摄无尘室的地板表面(格栅)。通常时，在无尘室的地板表面配设有格栅，从顶部朝向地板部形成的洁净空气的下降流经由格栅流入至地板表面的下方的空间部。该格栅下方的空间部的高度取决于无尘室，但例如设为1米至5米左右，若作业人员从无尘室的地板坠落至该空间部则非常危险。\n[0018] 监视照相机102用于拍摄形成在半导体制造装置110之间的通道的地板表面(格栅)。在图2所示的例子中，在半导体制造装置110的周围以包围半导体制造装置110的方式形成有通道111，作业人员能够在这些通道111上通行。因此，配设有四个监视照相机102，以便拍摄半导体制造装置110的四周。\n[0019] 如图3所示，在无尘室内配设有许多的半导体制造装置110。而且，将监视照相机\n102设置于这些半导体制造装置110，以便无尘室内的全部通道的格栅进入任意一个监视照相机102的视场内。此外，在图3所示的例子中，对于警报发生部103也示出配设于半导体制造装置110的情况，但也可以在半导体制造装置110以外的位置配设警报发生部103。\n[0020] 在图3所示的例子中，取下格栅的一部分，在地板表面形成有开口部113。在监视部\n101解析来自监视照相机102的图像信号，监视在无尘室内是否形成了开口部113。\n[0021] 如上述那样，监视照相机102被设置成无尘室内的全部通道111的格栅进入任意一个监视照相机102的视场内。因此，即使在取下了无尘室内的通道111的任意一个格栅的情况下，也能够通过任意一个监视照相机102检测出该情况，能够检测形成了开口部113这一情况。\n[0022] 应予说明，监视照相机102也可以设置在半导体制造装置110以外的部分，例如也可以设置在无尘室的顶部、壁部，也能够组合配设在这些部分的监视照相机102来使用。\n[0023] 接下来，参照图4的流程图，对无尘室的监视装置100的动作进行说明。\n[0024] 若开始无尘室的监视装置100中的无尘室的监视(步骤300)，则监视部101从各监视照相机102获取拍摄到的通道111的地板表面(格栅)的图像信号(步骤301)。\n[0025] 接下来，监视部101解析从各监视照相机102获取的图像信号，并判断是否从通道\n111的地板表面取下了格栅，而存在在通道111上形成了开口部113的部位(步骤302)。\n[0026] 而且，在判断为不存在在通道111上形成了开口部113的部位的情况下，接下来判断是否结束处理(步骤305)，在不结束处理的情况下，反复从步骤301开始的动作。另一方面，在结束处理的情况下，结束用于监视的处理(步骤306)。\n[0027] 另一方面，在步骤302判断为取下了格栅而在通道111上形成有开口部113的情况下，接下来，检测是否有接近该开口部113的作业人员(步骤303)。\n[0028] 而且，在判断为没有接近开口部113的作业人员的情况下，接下来判断是否结束处理(步骤305)，在不结束处理的情况下，反复从步骤301开始的动作。另一方面，结束处理的情况下，结束用于监视的处理(步骤306)。\n[0029] 另一方面，在判断为有接近开口部的作业人员的情况下，从监视部101向警报发生部103输出警报信号，在警报发生部103中发出基于光以及警报声等的警报(步骤304)。通过来自该警报发生部103的警报，接近开口部113的作业人员能够认识到正在临近危险的状态，能够事先防止滚落至开口部113这样的情况发生。\n[0030] 接下来，判断是否结束处理(步骤305)。而且，在不结束处理的情况下，反复从步骤\n301开始的动作。另一方面，在结束处理的情况下，结束用于监视的处理(步骤306)。\n[0031] 如上所述，在本实施方式所涉及的无尘室的监视装置以及无尘室的监视方法中，若取下无尘室内的格栅而在无尘室的地板表面形成开口部113，则自动地检测该开口部\n113，且若检测到接近开口部113的作业人员，则发出警报唤起作业人员注意。因此，即使在忘记在开口部113的周围设置路桩、护栏带等的情况下，也能够使作业人员注意到开口部\n113的存在。由此，能够防止作业人员从取下格栅而形成的开口部113坠落的事故发生。\n[0032] 此外，本发明并不局限于上述的实施方式，当然能够进行各种变形。\n[0033] 能够将本发明的无尘室的监视装置以及无尘室的监视方法在半导体器件、平板显示器用基板或者太阳能电池板等的制造领域等中加以利用。因此，具有工业上的可利用性。\n[0034] 符号说明：100…无尘室的监视装置，101…监视部，102…监视照相机，103…警报发生部，110…半导体制造装置，111…通道，113…开口部。