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一种用于微机械器件制作玻璃/硅键合装置及其使用方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN00116305.1
  • IPC分类号:--
  • 申请日期:
    2000-06-02
  • 申请人:
    中国科学院上海冶金研究所
著录项信息
专利名称一种用于微机械器件制作玻璃/硅键合装置及其使用方法
申请号CN00116305.1申请日期2000-06-02
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2000-11-22公开/公告号CN1273950
优先权暂无优先权号暂无
主分类号暂无IPC分类号暂无查看分类表>
申请人中国科学院上海冶金研究所申请人地址
上海市长宁区长宁路865号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国科学院上海冶金研究所当前权利人中国科学院上海冶金研究所
发明人熊斌;车录锋;王跃林
代理机构上海智信专利代理有限公司代理人张泽纯
摘要
一种用于微机械器件制作的玻璃/硅键合装置,主要由探针电极工作台、显微镜、CCD及监视器组件,硅片加热工作台及玻璃片定位工作台四部分组成,实施在玻璃/硅片受热膨胀变形均匀稳定后进行对准并同时键合,使键合对准精度达到1微米的要求,提高了键合器件的精度和性能。

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