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一种圆片真空吸盘

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201620237017.3
  • IPC分类号:H01L21/683;H01L21/68;H01L21/66
  • 申请日期:
    2016-03-25
  • 申请人:
    天津三安光电有限公司
著录项信息
专利名称一种圆片真空吸盘
申请号CN201620237017.3申请日期2016-03-25
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/683IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;8;3;;;H;0;1;L;2;1;/;6;8;;;H;0;1;L;2;1;/;6;6查看分类表>
申请人天津三安光电有限公司申请人地址
天津市西青区华苑产业区海泰南道20号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人天津三安光电有限公司当前权利人天津三安光电有限公司
发明人申利莹;张君逸;谢创宇;林仕尉;潘冠甫;吴超瑜;王笃祥
代理机构暂无代理人暂无
摘要
本实用新型公开了一种圆片真空吸盘,包括盘体和若干真空吸孔;所述盘体具有若干曝光角度线,所述曝光角度线的角度范围为0~90度;所述若干曝光角度线的长度均相等;所述若干曝光角度线的中点与真空吸盘盘体圆边的距离均相等。以上所述LED圆片真空吸盘用于曝光作业时,可以快速准确对位LED圆片的曝光角度,并且角度可任意选择,避免传统真空吸盘曝光作业时产生的曝光角度误差,提升LED圆片曝光角度作业的一致性,避免切割作业差异,进而提升切割良率从而提升LED芯片良率;同时,上述LED圆片真空吸盘用于测试作业时,可以快速准确对位LED圆片芯粒的方向,减少调节芯粒对位的作业时间,进而提升测试效率。

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