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光照设备、结晶设备、结晶方法和器件

发明专利无效专利

申请号：
CN200510091163.6
IPC分类号：G02F1/1368;G02F1/01;H01L29/786
申请日期：
2005-08-09
申请人：
株式会社液晶先端技术开发中心

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	光照设备、结晶设备、结晶方法和器件
申请号	CN200510091163.6	申请日期	2005-08-09
法律状态	放弃专利权	申报国家	中国
公开/公告日	2006-02-15	公开/公告号	CN1734336
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G02F1/1368 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G02 光学 G02F 用于控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置，例如转换、选通、调制或解调，上述器件或装置的光学操作是通过改变器件或装置的介质的光学性质来修改的；用于上述操作的技术或工艺；变频；非线性光学；光学逻辑元件；光学模拟/数字转换器〔2，4〕 G02F1/00 控制来自独立光源的光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置，例如，转换、选通或调制；非线性光学〔2，4〕 G02F1/01 对强度、相位、偏振或颜色的控制（G02F 1/29、G02F 1/35优先）〔2，7〕 G02F1/13 基于液晶的，例如单位液晶显示单元〔2〕 G02F1/133 构造上的设备；液晶单元的工作；电路装置（用于控制矩阵中液晶元件并且在结构上不与这些元件相连的装置或电路入G09G 3/36）〔3，7〕 G02F1/136 结构上与一半导体层或基片相结合的液晶单元，例如形成集成电路部分的液晶单元（G02F 1/135优先）〔5〕 G02F1/1362 有源矩阵寻址单元〔7〕 G02F1/1368 其中开关元件为三电极装置〔7〕	IPC分类号	G;0;2;F;1;/;1;3;6;8;;;G;0;2;F;1;/;0;1;;;H;0;1;L;2;9;/;7;8;6查看分类表>
申请人	株式会社液晶先端技术开发中心	申请人地址	日本神奈川县变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社液晶先端技术开发中心	当前权利人	株式会社液晶先端技术开发中心
发明人	谷口幸夫;松村正清
代理机构	永新专利商标代理有限公司	代理人	王英

摘要

一种光照设备，包括光调制元件(1)，该元件具有相位阶梯，该相位阶梯具有远远不同于180°的相差；光照光学系统(10)，该系统照射光调制元件；和成像光学系统(4)，基于由光调制元件进行了相位调制的光束该系统在照射表面上形成光强度分布。光照光学系统用在垂直于相位阶梯的阶梯线的方向上倾斜的光照光束照射光调制元件。

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