表面声波过滤装置形成方法及其形成的表面声波过滤装置

1.一种用于形成表面声波过滤装置的方法，所述表面声波过 滤装置包括压电基板和位于所述压电基板上的金属带元件，所述 金属带元件构成了布置在网络线路中的阻抗过滤元件，其中，网 络元件之间的相互静电作用产生频率不同于工作谐振频率的寄生 谐振，所述方法的特征在于，在过滤装置中设置用于将寄生谐振 频率偏移到与所述工作谐振频率大致相等的频率的结构。
2.一种由权利要求1所述的方法形成的表面声波过滤装置， 包括：母线(7，8)，它们沿着表面声波的传播方向延伸；以及叉 指电极(9，10)，它们垂直地从所述母线延伸，所述表面声波过 滤装置的特征在于，所述寄生谐振频率偏移结构为切口(19，25)， 所述切口平行于表面声波的传播方向以预定周期节距设置在所述 母线中。
3.如权利要求2所述的过滤装置，其特征在于，所述切口由 位于所述母线(7，8)内的孔(19)形成。
4.如权利要求3所述的过滤装置，其特征在于，所述孔(19) 具有矩形形状。
5.如权利要求2至4中任一所述的过滤装置，其特征在于， 所述切口(19，25)在表面声波的传播方向上的位置周期节距与 叉指电极间距(P)大致相等。
6.如权利要求5所述的过滤装置，其特征在于，叉指电极(9， 10)的宽度节距比(M/P)与切口(19，25)的宽度节距比(m/p) 大致相等。
7.如权利要求2至6中任一所述的过滤装置，其特征在于， 上、下母线(7，8)中的切口(19，25)的中心与两个相邻叉指 电极(9，10)之间的中心大致共线。
8.如权利要求2至7中任一所述的过滤装置，其特征在于， 切口(19，25)在垂直于表面声波传播方向的方向上的长度(l) 位于叉指电极的间距(P)的0.4-20倍的范围内。
9.如权利要求2至8中任一所述的过滤装置，其特征在于， 切口(19，25)在垂直于表面声波传播方向的方向上的长度(l) 是彼此不同的。
10.如权利要求2至9中任一所述的过滤装置，其特征在于， 切口(25)产生了一种虚设指结构，所述虚设指结构中的电极至 电极的间隙(27)小于叉指电极宽度(M)。
11.如权利要求10所述的过滤装置，其特征在于，形成了所 述间隙(27)的边缘与表面声波传播方向之间的夹角(α)在0 -60°的范围内。
12.一种包括反射器格栅的过滤装置，其特征在于，总格栅开 口(GA)覆盖了叉指电极开口(TA)和由孔形成的开口。
13.如权利要求2至12中任一所述的过滤装置，其特征在于， 其在母线(7，8)上的与叉指结构相邻的表面上包括附加底层， 所述底层可产生与所述叉指结构中的表面声波速度大致相等的表 面声波速度。

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