一种集成电路电镀设备

发明专利有效专利

申请号：
CN202110056702.1
IPC分类号：C25D17/06;C25D21/00;C25D7/00
申请日期：
2021-01-15
申请人：
沛县科鲁新能源技术服务中心

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著录项信息

专利名称	一种集成电路电镀设备
申请号	CN202110056702.1	申请日期	2021-01-15
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-06-04	公开/公告号	CN112899761A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C25D17/06 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C25 电解或电泳工艺；其所用设备〔4〕 C25D 覆层的电解或电泳生产工艺方法；电铸（印刷电路的金属沉积法制造入H05K 3/18）；工件的电解法接合；所用的装置（阳极或阴极保护入 C23F13/00；单晶生长入C30B）〔2，6〕 C25D17/00 电解镀覆用电解槽的结构件、或其组合件〔2〕 C25D17/06 施镀制品的悬挂或支承装置〔2〕	IPC分类号	C;2;5;D;1;7;/;0;6;;;C;2;5;D;2;1;/;0;0;;;C;2;5;D;7;/;0;0查看分类表>
申请人	沛县科鲁新能源技术服务中心	申请人地址	江苏省徐州市沛县张庄镇海河路文化站21号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	沛县科鲁新能源技术服务中心	当前权利人	沛县科鲁新能源技术服务中心
发明人	高明
代理机构	深圳紫晴专利代理事务所（普通合伙）	代理人	张世静

摘要

本发明提供一种集成电路电镀设备，涉及电路电镀技术领域，解决了现有的电路电镀设备在实际应用过程中存在着因电路板的形态并不一致因此在进行电镀加工时需要专用夹具进行夹紧，因此每次都需要利用专门的夹具会造成资源浪费，再者是电路板在加工前并未进行有效的清洁作业，容易因电路板表面上含有杂质造成电路板在电镀时出现损坏的问题，包括夹紧机构，所述夹紧机构安装在承载机构的顶端面左侧位置，本发明中，通过锥齿轮组的转动带动双向丝杆进行转动，通过双向丝杆与固定连接在限位板底端面的滑块的啮合传动带动每两处限位板将芯片进行夹紧作业，并且由于在限位板的内部开设有通槽，因此可在对芯片进行夹紧的同时不会对芯片的正常电镀造成影响。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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