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透明导电膜及其制造方法、太阳能电池及平板显示装置

发明专利有效专利

申请号：
CN200810226995.8
IPC分类号：C23C28/00;C23C14/35;C23C16/18;H01B5/14;H01L21/28;H01L31/18;H01L51/48;H01L51/56;H01L31/0224;H01L51/44;H01L27/32;H01L51/52;H01L33/00;G02F1/1343;G06F3/042
申请日期：
2008-11-28
申请人：
北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	透明导电膜及其制造方法、太阳能电池及平板显示装置
申请号	CN200810226995.8	申请日期	2008-11-28
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2010-06-23	公开/公告号	CN101748405A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C28/00 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C28/00 用不包含在C23C 2/00至C23C 26/00各大组中单一组的方法，或用包含在C23C小类的方法与C25D小类中方法的组合以获得至少二层叠加层的镀覆〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;2;8;/;0;0;;;C;2;3;C;1;4;/;3;5;;;C;2;3;C;1;6;/;1;8;;;H;0;1;B;5;/;1;4;;;H;0;1;L;2;1;/;2;8;;;H;0;1;L;3;1;/;1;8;;;H;0;1;L;5;1;/;4;8;;;H;0;1;L;5;1;/;5;6;;;H;0;1;L;3;1;/;0;2;2;4;;;H;0;1;L;5;1;/;4;4;;;H;0;1;L;2;7;/;3;2;;;H;0;1;L;5;1;/;5;2;;;H;0;1;L;3;3;/;0;0;;;G;0;2;F;1;/;1;3;4;3;;;G;0;6;F;3;/;0;4;2查看分类表>
申请人	北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司	申请人地址	北京经济技术开发区文昌大道8号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京北方华创微电子装备有限公司	当前权利人	北京北方华创微电子装备有限公司
发明人	徐亚伟
代理机构	北京集佳知识产权代理有限公司	代理人	逯长明

摘要

一种透明导电膜的制造方法，用于在基底上形成包含氧化锌材质的透明导电膜；包括：在基底上形成包含氧化锌的种子层；在所述种子层上形成包含氧化锌的主体层。本发明还提供一种透明导电膜、显示装置和太阳能电池。本发明的制造方法能够提高形成透明导电膜的速率；本发明的透明导电膜光电转换效率较高。

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