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刻蚀烘烤设备

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201320054079.7
  • IPC分类号:C23C16/00;C23F1/12
  • 申请日期:
    2013-01-29
  • 申请人:
    杭州士兰明芯科技有限公司
著录项信息
专利名称刻蚀烘烤设备
申请号CN201320054079.7申请日期2013-01-29
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/00IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;0;0;;;C;2;3;F;1;/;1;2查看分类表>
申请人杭州士兰明芯科技有限公司申请人地址
浙江省杭州市杭州经济技术开发区东区10号路300号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人杭州士兰明芯科技有限公司当前权利人杭州士兰明芯科技有限公司
发明人周永君;徐小明;丁云鑫
代理机构上海专利商标事务所有限公司代理人浦易文
摘要
本实用新型提供了一种刻蚀烘烤设备,该设备具有设备包括:反应腔,用于容纳需被清洁的石墨盘或外延衬底片;加热组件,加热组件构造在反应腔的外侧并能被操作提升反应腔内的温度;其中,刻蚀烘烤设备包括循环风冷系统,循环风冷系统包括:使气流循环运动的鼓风机;位于反应腔上方的顶部集气槽;位于反应腔下方的底部集气槽;连通在顶部集气槽和底部集气槽之间的风腔,风腔位于反应腔四周,引入风腔中的气流能够对加热组件进行冷却;以及换热器,换热器通过循环风道连接到底部集气槽的下游。采用本实用新型的刻蚀烘烤设备,反应腔体风道内相关的发热和受热部件可以被冷却,从而能够保证设备正常加热和使用。

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