读取晶圆标识的方法及晶圆标识读取装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201210398528.X
IPC分类号：G06K9/20;G03B15/03
申请日期：
2012-10-18
申请人：
中芯国际集成电路制造（上海）有限公司

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著录项信息

专利名称	读取晶圆标识的方法及晶圆标识读取装置
申请号	CN201210398528.X	申请日期	2012-10-18
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日	2014-05-07	公开/公告号	CN103778421A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G06K9/20 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G06 计算；推算；计数 G06K 数据识别；数据表示；记录载体；记录载体的处理（印刷本身入B41J） G06K9/00 用于阅读或识别印刷或书写字符或者用于识别图形，例如，指纹的方法或装置（用于图表阅读或者将诸如力或现状态的机械参量的图形转换为电信号的方法或装置入G06K 11/00；语音识别入G10L 15/00）〔1，7〕 G06K9/20 图像捕获〔3〕	IPC分类号	G;0;6;K;9;/;2;0;;;G;0;3;B;1;5;/;0;3查看分类表>
申请人	中芯国际集成电路制造（上海）有限公司	申请人地址	上海市浦东新区张江路18号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中芯国际集成电路制造（上海）有限公司	当前权利人	中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
发明人	朱俊灏;徐俊
代理机构	北京德琦知识产权代理有限公司	代理人	牛峥;王丽琴

摘要

本发明公开了一种晶圆标识读取装置，该装置包括：晶圆标识读取器、驱动马达和光学处理器；晶圆标识读取器包括垂直于水平面设置的照相机，以及与照相机成夹角移动的光源；所述照相机用于扫描晶圆标识；所述光源用于在与照相机呈预定角度下提供光强；驱动马达，分别与光源和光学处理器连接，用于根据光学处理器的命令信号调节光源与照相机之间的夹角；光学处理器，与光源连接，用于控制逐渐增加光源与照相机之间的夹角；还用于读取光源与照相机之间成不同的夹角时的光强，并将所述光强反馈给光源。本发明还公开了一种读取晶圆标识的方法。采用本发明能够快速准确读取晶圆标识。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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