加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

ITO薄膜的制备方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201711341683.7
  • IPC分类号:C23C14/08;C23C14/35
  • 申请日期:
    2017-12-14
  • 申请人:
    君泰创新(北京)科技有限公司
著录项信息
专利名称ITO薄膜的制备方法
申请号CN201711341683.7申请日期2017-12-14
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2018-05-18公开/公告号CN108048796A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/08IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;0;8;;;C;2;3;C;1;4;/;3;5查看分类表>
申请人君泰创新(北京)科技有限公司申请人地址
北京市大兴区北京经济技术开发区景园北街2号院66号楼7层805 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人君泰创新(北京)科技有限公司当前权利人君泰创新(北京)科技有限公司
发明人崔鸽;洪承健;何永才;董刚强;郁操;徐希翔;李沅民
代理机构北京维澳专利代理有限公司代理人周放;解立艳
摘要
本发明公开了一种ITO薄膜的制备方法,其包括向工艺腔室中通入水汽、氩气和氧气;通过磁控溅射工艺形成ITO薄膜。本发明提供的ITO薄膜的制备方法,通过在ITO薄膜制备过程中引入水汽,提高了ITO薄膜有效透过率、迁移率等电学性能和光学性能,同时增加了使用该ITO薄膜的异质结太阳能电池的短路电流,提升了电池的光电转化效率。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供