单偏振器聚焦光束椭偏计

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专利名称	单偏振器聚焦光束椭偏计
申请号	CN200880021195.0	申请日期	2008-11-11
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2010-05-26	公开/公告号	CN101715539A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/06 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/02 用于计量长度、宽度或厚度（G01B 11/08优先） G01B11/06 用于计量厚度	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;0;6查看分类表>
申请人	韩国标准科学研究院	申请人地址	韩国大田广域市变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	韩国标准科学研究院	当前权利人	韩国标准科学研究院
发明人	赵龙在;诸葛园;赵贤模
代理机构	北京三友知识产权代理有限公司	代理人	李辉

摘要

本发明涉及一种单偏振器聚焦光束椭偏计，更具体地涉及一种具有简化结构的聚焦光束椭偏计，在该简化结构中，单个偏振分束器起着起偏器、分束器和偏振分析器的作用。在采用的测量方法中，多入射面测量方法被应用于多入射角，因此可以分析试样的光学性质的准确信息，即，薄膜情况下该薄膜的厚度和折射率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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