角速度传感器及其制作方法

发明专利无效专利

申请号：
CN200710096908.7
IPC分类号：G01P3/44;G01C19/56
申请日期：
2007-04-16
申请人：
精工爱普生株式会社

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	角速度传感器及其制作方法
申请号	CN200710096908.7	申请日期	2007-04-16
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2007-10-24	公开/公告号	CN101059527
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01P3/44 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01P 线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在或不存在的指示；运动的方向的指示（利用陀螺效应测量角速率入G01C 19/00；用于测量两个或多个运动变量的组合测量设备入G01C 23/00；声速测量入G01H 5/00；光速测量入G01J 7/00；通过无线电波或其他波的反射或再辐射，且基于传播效应（例如多普勒效应）、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S；核辐射速度的测量入G01T） G01P3/00 线速度或角速度的测量；线速度或角速度差值的测量（G01P 5/00至G01P 11/00优先；利用陀螺效应测量角速率入G01C 19/00） G01P3/42 以所用电或磁的方法为特征的装置（G01P 3/66优先） G01P3/44 用于角速度的测量（G01P 3/56优先）	IPC分类号	G;0;1;P;3;/;4;4;;;G;0;1;C;1;9;/;5;6查看分类表>
申请人	精工爱普生株式会社	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	精工爱普生株式会社	当前权利人	精工爱普生株式会社
发明人	樋口天光;江口诚
代理机构	北京康信知识产权代理有限责任公司	代理人	余刚;尚志峰

摘要

本发明提供以极小型、可获得如数十kHz频段的共振频率的角速度传感器，包括：SOI基板，具有基板、形成于该基板上方的氧化物层、形成于该氧化物层上方的半导体层；音叉式振动部，通过加工半导体层和氧化物层而形成，包括半导体层；生成振动部的弯曲振动的驱动部；及检测施加在振动部的角速度的检测部。振动部具有支撑部、及将支撑部作为基端而形成为悬臂梁状的两根梁部；驱动部分别形成于两个梁部的上方、且各为一对，各驱动部具有第一电极层、形成于该第一电极层上方的压电体层、形成于该压电体层上方的第二电极层；检测部分别形成于两个梁部的上方、且各为一个，各检测部被配置在上述一对驱动部、一对驱动部之间，并具有第一电极层、形成于该第一电极层上方的压电体层、形成于该压电体层上方的第二电极层。

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