物理量检测传感器的制造方法、物理量检测传感器

发明专利有效专利

申请号：
CN201910815327.7
IPC分类号：B81C1/00;B81B7/00;G01P15/125
申请日期：
2019-08-30
申请人：
三菱电机株式会社

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法律信息

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著录项信息

专利名称	物理量检测传感器的制造方法、物理量检测传感器
申请号	CN201910815327.7	申请日期	2019-08-30
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2020-03-13	公开/公告号	CN110877893A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B81C1/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B8 微观结构技术；纳米技术 B81 微观结构技术〔7〕 B81C 专门适用于制造或处理微观结构装置或系统的方法或设备（制造微胶囊或微球入B01J13/02；专门适用于制造或处理压电器件、电致伸缩器件或磁致伸缩器件的方法或设备本身入H01L41/22）〔7〕 B81C1/00 在基片内或其上制造或处理的装置或系统（B81C 3/00优先）〔7〕	IPC分类号	B;8;1;C;1;/;0;0;;;B;8;1;B;7;/;0;0;;;G;0;1;P;1;5;/;1;2;5查看分类表>
申请人	三菱电机株式会社	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	三菱电机株式会社	当前权利人	三菱电机株式会社
发明人	山口靖雄
代理机构	北京天昊联合知识产权代理有限公司	代理人	何立波;张天舒

摘要

本发明的目的在于提供能够对切割中的碎裂或者裂缝的产生进行抑制的物理量检测传感器的制造方法和物理量检测传感器。具备下述步骤：将设置有多个传感器可动部的传感器基板和与该传感器基板的材料不同的异种基板粘贴，形成具有多个传感器器件的层叠构造；以及使用切割刀具对该层叠构造进行切割，在该传感器基板或者该异种基板以贯穿该传感器基板或者该异种基板的方式设置比该切割刀具的宽度大的宽度的槽，该切割的至少一部分是以该切割刀具容纳于该槽，不与该槽的左右的面接触的状态进行的。

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