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一种载具和管式等离子体增强化学气相沉积的设备

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201920298046.4
  • IPC分类号:C23C16/50;C23C16/458
  • 申请日期:
    2019-03-08
  • 申请人:
    宁夏隆基乐叶科技有限公司
著录项信息
专利名称一种载具和管式等离子体增强化学气相沉积的设备
申请号CN201920298046.4申请日期2019-03-08
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/50IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;5;0;;;C;2;3;C;1;6;/;4;5;8查看分类表>
申请人宁夏隆基乐叶科技有限公司申请人地址
宁夏回族自治区银川市经济技术开发区文萃南街战略新兴材料加工区8号206室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人宁夏隆基乐叶科技有限公司当前权利人宁夏隆基乐叶科技有限公司
发明人赵赞良
代理机构北京润泽恒知识产权代理有限公司代理人莎日娜
摘要
本实用新型提供了一种载具和管式等离子体增强化学气相沉积的设备,涉及太阳能光伏技术领域。所述载具包括:每个所述载具单元上设置有至少一个镂空区域;所述镂空区域至所述第一侧边的距离,大于所述镂空区域至所述第二侧边的距离;每个所述载具单元的非镂空区域设置有第一数量的通孔;设置于所述第一侧边的外侧和内侧的各个通孔,尺寸和形状均相同;每个所述载具单元设置有与所述通孔配合的第二数量的硅片卡点和至少一个填充卡点;所述填充卡点用于堵塞所述第一数量的通孔中,除与所述硅片卡点配合之外的通孔;每个所述填充卡点的高度小于等于所述载具单元的厚度。该载具不用改变现有自动化设备,即可以实现同一载具适应不同尺寸的硅片。

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