有温度补偿的薄膜体声谐振器

发明专利有效专利

申请号：
CN200480039134.9
IPC分类号：H03H9/58
申请日期：
2004-10-29
申请人：
阿瓦戈科技无线IP（新加坡）股份有限公司

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著录项信息

专利名称	有温度补偿的薄膜体声谐振器
申请号	CN200480039134.9	申请日期	2004-10-29
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2007-01-24	公开/公告号	CN1902819
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H03H9/58 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H03 基本电子电路 H03H 阻抗网络，例如谐振电路；谐振器（测量，试验入G01R；产生混响或回声装置入G10K 15/08；由分布阻抗，例如波导型，组成的阻抗网络或谐振器入H01P；放大的控制，例如放大器的带宽控制入H03G；调谐谐振电路，例如调谐耦合谐振电路入H03J；改善通信系统频率特性的网络入H04B） H03H9/00 包括机电或电声器件的网络；机电谐振器（制造压电或磁致伸缩元件入H01L 41/00；扬声器，话筒，唱机拾音器或类似物入H04R） H03H9/46 滤波器（多端对机电滤波器入H03H 9/70）〔3〕 H03H9/54 包含由压电或电致伸缩材料构成的谐振器（H03H 9/64优先）〔3〕 H03H9/58 多晶滤波器〔3〕	IPC分类号	H;0;3;H;9;/;5;8查看分类表>
申请人	阿瓦戈科技无线IP（新加坡）股份有限公司	申请人地址	新加坡新加坡市变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	安华高科技股份有限公司	当前权利人	安华高科技股份有限公司
发明人	J·D·拉森三世
代理机构	北京东方亿思知识产权代理有限责任公司	代理人	王怡

摘要

温度补偿的薄膜体声谐振器FBAR器件(100)包括FBAR堆叠(111)。FBAR堆叠包括FBAR(110)和温度补偿元件(109)。FBAR由具有温度系数的谐振频率表征，并且FBAR包括对置平面电极(112、114)和在电极之间的压电元件(116)。压电元件具有至少部分为谐振频率的温度系数所依赖的温度系数。温度补偿元件具有其符号与压电元件的温度系数相反的温度系数。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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