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晶圆显影装置、方法和晶圆

发明专利有效专利

申请号：
CN202011257957.6
IPC分类号：G03F7/30;H01L33/00
申请日期：
2020-11-12
申请人：
重庆康佳光电技术研究院有限公司

基础信息

权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	晶圆显影装置、方法和晶圆
申请号	CN202011257957.6	申请日期	2020-11-12
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-06-15	公开/公告号	CN112965347A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F7/30 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F7/00 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L 21/00，H05K）〔3，5〕 G03F7/26 感光材料的处理及其设备（G03F 7/12至G03F 7/24优先）〔3，5〕 G03F7/30 用液体消除影像的〔5〕	IPC分类号	G;0;3;F;7;/;3;0;;;H;0;1;L;3;3;/;0;0查看分类表>
申请人	重庆康佳光电技术研究院有限公司	申请人地址	重庆市璧山区璧泉街道钨山路69号（1号厂房）变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	重庆康佳光电技术研究院有限公司	当前权利人	重庆康佳光电技术研究院有限公司
发明人	肖清凯;李瑶;熊超超
代理机构	深圳鼎合诚知识产权代理有限公司	代理人	李发兵

摘要

本发明涉及一种晶圆显影装置、方法和晶圆。其中的晶圆显影装置，通过显影喷嘴对旋转的晶圆喷涂显影液，且在显影过程中载台变速旋转，增加了转速振荡，提升了显影液的覆盖效果，从而整体上提升了晶圆显影效果。

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