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减少半导体制造中的黑硅

发明专利无效专利

申请号：
CN99103446.5
IPC分类号：--
申请日期：
1999-03-11
申请人：
西门子公司;国际商业机器公司

基础信息

权利要求

说明书

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	减少半导体制造中的黑硅
申请号	CN99103446.5	申请日期	1999-03-11
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	1999-10-13	公开/公告号	CN1231499
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	西门子公司;国际商业机器公司	申请人地址	联邦德国*** 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	西门子公司,国际商业机器公司	当前权利人	西门子公司,国际商业机器公司
发明人	王廷浩;彭登青;D·M·多布岑斯凯;R·S·维瑟
代理机构	中国专利代理（香港）有限公司	代理人	王忠忠

摘要

黑硅的减少是通过在形成硬腐蚀掩模之前在晶片的轮缘部分和侧面提供保护器件层实现的。

一种花生粕中多糖提取工艺的酶解装置

一种花生粕中多糖提取工艺的酶解装置

发明授权

一种NK细胞的复苏培养基及复苏方法

一种NK细胞的复苏培养基及复苏方法

发明授权

一种祛痘配方精油制备时二氧化碳减压分离器

一种祛痘配方精油制备时二氧化碳减压分离器

实用新型

一种金属成形机床用定位装置

实用新型

一种套丝机用滑架传动机构

实用新型

一种具有绝缘塞的电缆接头

实用新型

一种木制片指接挤缝一体机构

实用新型

一种电缆中间接头防水防爆保护盒

一种电缆中间接头防水防爆保护盒

实用新型

一种铜杆加工用截断装置

实用新型

一种滚齿机用刀具角度调整组件

实用新型

一种磨削钻头的成型砂轮

实用新型

一种钉箱机用自动调压装置

实用新型

一种多功能液压油泵联轴器

实用新型

一种卧式泵联轴器安装托架

实用新型

一种焊接机用机架

实用新型

一种钻尖带断削槽的钻头

实用新型

一种电焊机用辅助支架

实用新型

一种半自动钉箱机的进纸架

实用新型

一种船用配套设备制备用焊接架

实用新型

一种便于更换的组合式合金铰刀

实用新型

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