光学系统对心装调的装置和方法

发明专利有效专利

申请号：
CN200810200907.7
IPC分类号：G02B27/62;G02B27/00;G03F7/20
申请日期：
2008-10-08
申请人：
上海微电子装备有限公司

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著录项信息

专利名称	光学系统对心装调的装置和方法
申请号	CN200810200907.7	申请日期	2008-10-08
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2009-03-18	公开/公告号	CN101387761
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G02B27/62 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G02 光学 G02B 光学元件、系统或仪器（G02F优先；专用于照明装置或系统的光学元件入F21V 1/00至F21V 13/00；测量仪器见G01类的有关小类，例如，光学测距仪入G01C；光学元件、系统或仪器的测试入G01M 11/00；眼镜入G02C；摄影、放映或观看用的装置或设备入G03B；声透镜入G10K 11/30；电子和离子“光学”入H01J；X射线“光学”入H01J，H05G 1/00；结构上与放电管相组合的光学元件入H01J 5/16，H01J 29/89，H01J 37/22；微波“光学”入H01Q；光学元件与电视接收机的组合装置入H04N 5/72；彩色电视系统中的光学系统或装置入H04N 9/00；专门适用于透明或反射区的加热装置入H05B 3/84）〔1，7〕 G02B27/00 其他光学系统；其他光学仪器（使商店橱窗或陈列柜产生特别光学效果的装置入A47F，例如，A47F 11/06；光学玩具入A63H 33/22；以具有特殊光学效果为特征的设计或图样入B44F 1/00） G02B27/62 组装光学系统过程中专用于调节光学元件的光学仪器（调节装置是被组装系统的一部分的入G02B 7/00）〔3〕	IPC分类号	G;0;2;B;2;7;/;6;2;;;G;0;2;B;2;7;/;0;0;;;G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人	上海微电子装备有限公司	申请人地址	上海市张江高科技园区张东路1525号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海微电子装备（集团）股份有限公司	当前权利人	上海微电子装备（集团）股份有限公司
发明人	周辉
代理机构	上海思微知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	屈蘅;李时云

摘要

本发明提出一种光学系统对心装调的装置和方法，所述光学系统对心装调装置包括自准直显微镜和具有空气轴承的转台，其中所述自准直显微镜的光轴与所述空气轴承的旋转轴精确对准，所述自准直显微镜包括照明模块，带刻丝的掩膜板，分光棱镜，调焦物镜组，显微物镜组，半透半反镜，测量分划板，CCD及显微目镜组，保证所述光学系统对心装调装置的偏心测量精度和镜片装调精度，所述转台用于放置被检透镜。本发明的对心装调装置提供一种自准直显微镜，将它运用到高精度定心仪中，它与高精度的空气轴承共同使用，能有效提高该定心设备的定心精度，以满足高精度光学系统镜片的装校要求。

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