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用于高光敏度高抗蚀厚涂层i-线光刻胶的磺酰肟类

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN99117977.3
  • IPC分类号:--
  • 申请日期:
    1999-08-18
  • 申请人:
    西巴特殊化学品控股有限公司
著录项信息
专利名称用于高光敏度高抗蚀厚涂层i-线光刻胶的磺酰肟类
申请号CN99117977.3申请日期1999-08-18
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2000-03-08公开/公告号CN1246655
优先权暂无优先权号暂无
主分类号暂无IPC分类号暂无查看分类表>
申请人西巴特殊化学品控股有限公司申请人地址
瑞士巴塞尔 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人西巴特殊化学品控股有限公司当前权利人西巴特殊化学品控股有限公司
发明人T·阿萨库拉;H·布莱尔;C·德勒奥
代理机构中国专利代理(香港)有限公司代理人王景朝;王其灏
摘要
能被光激活的组合物,包含至少一种能受酸作用而交联的化合物,和/或至少一种在酸的作用下改变其溶解度的化合物,以及至少一种作为光引发剂的在240—390nm波长光照射下产生磺酸,其在i线(365nm)处摩尔消光系数ε小于10的化合物,此组合物特别适用于制造负型及正型光刻胶,印刷版,图像记录材料或滤色器。

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