一种衍射效率渐变的光栅耦合器制备装置和制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201910092457.2
IPC分类号：G02B5/18
申请日期：
2019-01-30
申请人：
苏州大学

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专利名称	一种衍射效率渐变的光栅耦合器制备装置和制备方法
申请号	CN201910092457.2	申请日期	2019-01-30
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2019-04-09	公开/公告号	CN109597157A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G02B5/18 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G02 光学 G02B 光学元件、系统或仪器（G02F优先；专用于照明装置或系统的光学元件入F21V 1/00至F21V 13/00；测量仪器见G01类的有关小类，例如，光学测距仪入G01C；光学元件、系统或仪器的测试入G01M 11/00；眼镜入G02C；摄影、放映或观看用的装置或设备入G03B；声透镜入G10K 11/30；电子和离子“光学”入H01J；X射线“光学”入H01J，H05G 1/00；结构上与放电管相组合的光学元件入H01J 5/16，H01J 29/89，H01J 37/22；微波“光学”入H01Q；光学元件与电视接收机的组合装置入H04N 5/72；彩色电视系统中的光学系统或装置入H04N 9/00；专门适用于透明或反射区的加热装置入H05B 3/84）〔1，7〕 G02B5/00 除透镜外的光学元件（光波导入G02B 6/00；光学逻辑元件入G02F 3/00）〔4〕 G02B5/18 衍射光栅	IPC分类号	G;0;2;B;5;/;1;8查看分类表>
申请人	苏州大学	申请人地址	江苏省苏州市相城区济学路8号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	苏州大学	当前权利人	苏州大学
发明人	蔡志坚;吴建宏
代理机构	苏州市中南伟业知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	杨慧林

摘要

本发明公开了一种衍射效率渐变的光栅耦合器制备装置和制备方法，包括：离子束发生器，其发出离子束以刻蚀光栅；挡板，其位于所述离子束发生器的下侧，所述挡板上开设有通孔；沿x方向，所述通孔在y方向的宽度渐变；样品台，其位于所述挡板下侧，所述样品台用于放置样品，所述样品为光栅基板，所述光栅基板上设置有光栅掩膜；动力组件，其驱动所述样品台或所述挡板沿y方向匀速运动；其中，x方向和y方向为水平面上相互垂直的方向；所述动力组件驱动所述样品与所述通孔在y方向发生相对移动，所述离子束经所述通孔在样品上刻蚀出槽深渐变的光栅。其能够刻蚀衍射效率渐变的光栅，精度高，便于实施。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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