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一种集成紫外生物芯片传感器的制作方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201010141645.9
  • IPC分类号:G01N21/64;H01L21/77;H01L33/00
  • 申请日期:
    2010-04-08
  • 申请人:
    长春理工大学
著录项信息
专利名称一种集成紫外生物芯片传感器的制作方法
申请号CN201010141645.9申请日期2010-04-08
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2010-08-25公开/公告号CN101813628A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01N21/64IPC分类号G;0;1;N;2;1;/;6;4;;;H;0;1;L;2;1;/;7;7;;;H;0;1;L;3;3;/;0;0查看分类表>
申请人长春理工大学申请人地址
吉林省长春市朝阳区卫星路7186号长春理工大学重点实验室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人长春理工大学当前权利人长春理工大学
发明人曲轶;赵强;杨旭;李辉;张斯钰;赵博;刘国军;薄报学
代理机构暂无代理人暂无
摘要
集成紫外生物芯片传感器,涉及生物战剂传感器的设计制作领域。该领域中传统LIF探测系统的光源都是采用脉冲的可见或红外光倍频产生紫外光。其价格高、效率低,体积大且易碎,不利于实时探测和野外环境使用。其次,脉冲紫外光占空比不高,对生物悬浮颗粒的探测灵敏度较低,且传统的连续紫外灯的光强不足以激发生物悬浮颗粒发出荧光。这些问题都对探测器统的应用造成极大的障碍。该发明中,采用多波长紫外LED作为激发光源,克服了传统光源的缺陷。且将多波长紫外LED、Si-PIN探测器、紫外光滤波片集成在同一衬底上,使传感器具有探测和识别多种生物战剂的能力,在提高探测效率,降低探测误警率的同时,满足了野外环境对探测器轻便坚固、快速响应、高灵敏的使用要求。

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