一种镓掺杂单晶硅用的镓硅合金制作炉及其制作方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202010363285.0
IPC分类号：C30B29/06;C30B11/02
申请日期：
2020-04-30
申请人：
包头美科硅能源有限公司;江苏高照新能源发展有限公司

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专利名称	一种镓掺杂单晶硅用的镓硅合金制作炉及其制作方法
申请号	CN202010363285.0	申请日期	2020-04-30
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2020-07-17	公开/公告号	CN111424314A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B29/06 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B29/00 以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料〔3，5〕 C30B29/02 元素〔3〕 C30B29/06 硅〔3〕	IPC分类号	C;3;0;B;2;9;/;0;6;;;C;3;0;B;1;1;/;0;2查看分类表>
申请人	包头美科硅能源有限公司;江苏高照新能源发展有限公司	申请人地址	内蒙古自治区包头市昆都仑区金属深加工园区拓业路1号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	包头美科硅能源有限公司,江苏美科太阳能科技有限公司	当前权利人	包头美科硅能源有限公司,江苏美科太阳能科技有限公司
发明人	马新星;王艺澄
代理机构	南京利丰知识产权代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	任立

摘要

本发明公开了一种镓掺杂单晶硅用的镓硅合金制作炉，包括制作炉炉体、合金炉、冷凝机及合金接受槽，合金炉包括炉体及石英坩埚、加热器、埚邦及埚托，石英坩埚外设有埚邦，石英坩埚的底端通过中空石墨托杆连接有坩埚升降、转动装置，炉体的底部还设有中空石英锥，炉体的上端设有合金炉惰性气体入口，炉体的下端设有合金炉排气孔；制作炉炉体上表面设有惰性气体入口，制作炉炉体的下表面设有制作炉排气孔；该制作炉结构简单，使用方便，制作镓硅合金的方法简单易行，该镓硅合金的制作有效提高了掺杂加入的可操作性及掺杂及的稳定性，提高了生产效率及掺杂准确性，有效减少了镓金属被污染或掉落流失而引起的质量风险。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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