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制备Mo合金制靶材料的方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200510009585.4
  • IPC分类号:B22F3/16;C23C14/34
  • 申请日期:
    2005-02-24
  • 申请人:
    日立金属株式会社
著录项信息
专利名称制备Mo合金制靶材料的方法
申请号CN200510009585.4申请日期2005-02-24
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2005-08-31公开/公告号CN1660526
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B22F3/16IPC分类号B;2;2;F;3;/;1;6;;;C;2;3;C;1;4;/;3;4查看分类表>
申请人日立金属株式会社申请人地址
日本东京 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人日立金属株式会社当前权利人日立金属株式会社
发明人岩崎克典;井上惠介;植村典夫
代理机构中科专利商标代理有限责任公司代理人陈平
摘要
本发明公开的是一种制备Mo合金制靶材料的方法,该方法包含下面步骤:(a)通过压制由平均颗粒尺寸不超过20μm的Mo粉末和平均颗粒尺寸不超过500μm的过渡金属粉末组成的原料粉末混合物,制备生坯;(b)粉碎生坯以制备次级粒子,其平均颗粒尺寸为不低于原料粉末混合物的平均颗粒尺寸至不超过10mm;(c)将次级粒子装入到加压用容器中;和(d)对次级粒子和加压用容器在压力下进行烧结,因此得到制靶材料的烧结体。

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