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基于微米级阵列结构和氧化钇薄膜的蓝宝石光学性能提升方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201610208023.0
  • IPC分类号:C23C14/35;C23C14/08
  • 申请日期:
    2016-04-05
  • 申请人:
    南京航空航天大学
著录项信息
专利名称基于微米级阵列结构和氧化钇薄膜的蓝宝石光学性能提升方法
申请号CN201610208023.0申请日期2016-04-05
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2016-08-03公开/公告号CN105821387A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/35IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;3;5;;;C;2;3;C;1;4;/;0;8查看分类表>
申请人南京航空航天大学申请人地址
江苏省南京市御道街29号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人南京航空航天大学当前权利人南京航空航天大学
发明人姚正军;徐尚君;周金堂;方超
代理机构南京钟山专利代理有限公司代理人戴朝荣
摘要
本发明涉及一种基于微米级阵列结构和氧化钇薄膜的蓝宝石光学性能提升方法,将蓝宝石基底经过微结构化处理,表面形成周期性圆锥结构;以具有微结构的蓝宝石为基底,采用反应磁控溅射在其表面制备氧化钇薄膜;溅射完成后,在340~400℃空气中保温退火1~2h。本发明将表面镀膜与表面微结构化处理进行有机结合,即采用单层氧化钇薄膜与特定尺寸微结构相配合,提高蓝宝石光学性能。选择折射率高于蓝宝石的氧化钇薄膜作为增透膜,采用合适的制备及退火工艺,获得具有柱状结构、立方相且无吸附氧的氧化钇薄膜,并调节薄膜厚度,低成本高效率地延伸微结构的优势。

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