电子源以及带电粒子线装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201980094952.5
IPC分类号：H01J37/06;H01J37/073
申请日期：
2019-04-18
申请人：
株式会社日立高新技术

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著录项信息

专利名称	电子源以及带电粒子线装置
申请号	CN201980094952.5	申请日期	2019-04-18
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2021-11-12	公开/公告号	CN113646864A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/06 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/02 零部件 H01J37/04 电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置，如电子光学装置，离子光学装置 H01J37/06 电子源；电子枪	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;0;6;;;H;0;1;J;3;7;/;0;7;3查看分类表>
申请人	株式会社日立高新技术	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社日立高新技术	当前权利人	株式会社日立高新技术
发明人	糟谷圭吾;池上明;本田和广;福田真大;土肥隆;片桐创一;武居亚纪;松永宗一郎
代理机构	中科专利商标代理有限责任公司	代理人	吴秋明

摘要

使得从带电粒子线装置的电子枪稳定地放出大电流的电子线。具备电子枪，其具有：SE尖端(202)、配置在比SE尖端的前端更靠后方的抑制器(303)；和由底面和筒部构成的杯子形状的引出电极(204)，在引出电极中内含SE尖端和抑制器，在抑制器与引出电极之间具有保持它们的绝缘子(208)，在抑制器与引出电极的圆筒部之间设置具有圆筒部(302)的导电性金属的遮蔽电极(301)，对该遮蔽电极施加比SE尖端低的电压。

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