加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

基板承载板

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN201320090450.5
  • IPC分类号:H01L21/673
  • 申请日期:
    2013-02-27
  • 申请人:
    应用材料公司
著录项信息
专利名称基板承载板
申请号CN201320090450.5申请日期2013-02-27
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/673IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7;3查看分类表>
申请人应用材料公司申请人地址
美国加利福尼亚州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人应用材料公司当前权利人应用材料公司
发明人史蒂文·韦尔豪费尔贝克;罗曼·古科
代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司代理人徐金国
摘要
本实用新型涉及基板承载板,并且提供了用于同时处理多个基板的方法和设备。在一个实施例,提供了用于支撑多个基板的承载板。所述承载板包括盘状主体,所述盘状主体具有第一侧和与所述第一侧相对的、实质平坦的第二侧,并且所述承载板包括形成在所述盘状主体的第一侧中的多个凹部。多个凹部的各个凹部都包括从第一侧的表面到凹部的底表面渐缩的侧壁和设置在所述凹部的底表面上方并几何对中在所述凹部的支撑结构。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供