一种高温声表面波温度传感器

发明专利无效专利

申请号：
CN201410645065.1
IPC分类号：G01K11/22
申请日期：
2014-11-12
申请人：
中国科学院微电子研究所

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种高温声表面波温度传感器
申请号	CN201410645065.1	申请日期	2014-11-12
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2015-02-18	公开/公告号	CN104359584A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01K11/22 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01K 温度测量；热量测量；未列入其他类目的热敏元件（辐射高温测定法入G01J 5/00） G01K11/00 不包括在G01K 3/00，G01K 5/00，G01K 7/00或G01K 9/00各组的以物理或化学变化为基础的温度测量 G01K11/22 利用测量声学效应的	IPC分类号	G;0;1;K;1;1;/;2;2查看分类表>
申请人	中国科学院微电子研究所	申请人地址	北京市朝阳区北土城西路3号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院微电子研究所	当前权利人	中国科学院微电子研究所
发明人	李冬梅;周磊;梁圣法;谢常青;刘明
代理机构	中科专利商标代理有限责任公司	代理人	任岩

摘要

本发明公开了一种高温声表面波温度传感器，该高温声表面波温度传感器包括：衬底；在衬底之上形成的压电薄膜；在该压电薄膜的部分之上形成的金属电极；以及覆盖于未形成金属电极的压电薄膜之上及该金属电极之上的保护层。本发明通过在压电薄膜和金属电极表面沉积覆盖一层保护层，解决了高温环境中压电薄膜和金属电极的退化问题，增强了器件对高温的耐受能力，同时隔绝了外界环境对器件表面的腐蚀，延长了传感器在高温环境中的工作时间。本发明结构简单、易于制作并对高温较强的耐受性，因此适用于石油化工、航空航天、机械冶金等领域所涉及高温环境中的温度测量。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供