金属高能X射线聚焦组合透镜的制作工艺

发明专利无效专利

申请号：
CN02148418.X
IPC分类号：--
申请日期：
2002-11-29
申请人：
浙江工业大学

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法律信息

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著录项信息

专利名称	金属高能X射线聚焦组合透镜的制作工艺
申请号	CN02148418.X	申请日期	2002-11-29
法律状态	权利终止	申报国家	暂无
公开/公告日	2004-06-16	公开/公告号	CN1505061
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	浙江工业大学	申请人地址	浙江省杭州市下城区朝晖六区变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	浙江工业大学	当前权利人	浙江工业大学
发明人	乐孜纯;梁静秋
代理机构	杭州天正专利事务所有限公司	代理人	王兵;袁木棋

摘要

本发明涉及金属高能X射线聚焦组合透镜的制作工艺。金属高能X射线聚焦组合透镜包括衬底(1)、电铸阴极薄膜(2)、金属透镜阵列(3)、空气隙(4)，其制作工艺为：清洁衬底，上表面生长金属薄膜作为电铸阴极，涂覆正性光刻胶并固化，在其上涂覆SU8负性光刻胶，光刻、显影、去除暴露出的正性光刻胶，电铸，去除剩余的正性光刻胶及其上面的SU8光刻胶，刻蚀掉未被金属电铸结构覆盖的电铸阴极材料，完成金属高能X射线聚焦组合透镜的制作。具有尺寸精度高、表面粗糙度低、透镜单元中心厚度尺寸小、可制作各种几何形状的结构、有利于批量制作和集成的优点。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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