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硅片传输系统

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201510270081.1
  • IPC分类号:G03F7/20
  • 申请日期:
    2015-05-24
  • 申请人:
    上海微电子装备有限公司
著录项信息
专利名称硅片传输系统
申请号CN201510270081.1申请日期2015-05-24
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2017-01-04公开/公告号CN106292194A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人上海微电子装备有限公司申请人地址
上海市浦东新区张东路1525号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海微电子装备(集团)股份有限公司当前权利人上海微电子装备(集团)股份有限公司
发明人刘凯;胡松立;姜杰
代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)代理人屈蘅;李时云
摘要
本发明公开了一种硅片传输系统,包括:双臂机械手、上片直线手和下片直线手;其中,所述双臂机械手从硅片存储装置中将待曝光的硅片取出并移送到预对准装置上,并从缓存台将曝光完成的硅片取下放回硅片存储装置中;上片直线手用于将预对准后的硅片移动至工件台,下片直线手将曝光完成后的硅片移动至缓存台。所述双臂机械手、上片直线手和下片直线手可以并行动作,达到节省硅片传输时间的目的。

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