一种用于离子注入机的有动密封结构硅片定向装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201420619232.0
IPC分类号：H01J37/317;H01J37/20;H01L21/68
申请日期：
2014-10-24
申请人：
北京中科信电子装备有限公司

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著录项信息

专利名称	一种用于离子注入机的有动密封结构硅片定向装置
申请号	CN201420619232.0	申请日期	2014-10-24
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/317 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/30 物体局部处理用的电子束管或离子束管 H01J37/317 用于改变物体的特性或在其上加上薄层的，如离子注入（H01J 37/36优先）〔3〕	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;3;1;7;;;H;0;1;J;3;7;/;2;0;;;H;0;1;L;2;1;/;6;8查看分类表>
申请人	北京中科信电子装备有限公司	申请人地址	北京市通州区光机电一体化产业基地兴光二街6号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京中科信电子装备有限公司	当前权利人	北京中科信电子装备有限公司
发明人	武文杰
代理机构	长沙正奇专利事务所有限责任公司	代理人	马强

摘要

本实用新型提出了一种用于离子注入机的有动密封结构硅片定向装置，包括工作台板；设有贯通轴孔的密封组件穿过所述工作台板，其上端位于真空室内，下端位于大气区域；旋转轴的中间部分安装在所述轴孔内，旋转轴上端连接有定向圆盘而下端与升降驱动装置和旋转驱动装置连接；位于所述工作台板下方的密封组件部分设有和所述轴孔连通的差分抽气口；所述工作台板顶面装有LED灯安装组件；所述密封组件的上下两端均设有密封压盖；本实用新型将较大体积的驱动装置安装在真空室外，通过密封组件保证真空室内的真空度基本不受影响，解决了行业内一直以来的设计难题。

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