基板处理装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201910216787.8
IPC分类号：H01L21/67
申请日期：
2019-03-21
申请人：
显示器生产服务株式会社

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法律信息

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著录项信息

专利名称	基板处理装置
申请号	CN201910216787.8	申请日期	2019-03-21
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2019-10-22	公开/公告号	CN110364456A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/67 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/67 专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置〔8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;7查看分类表>
申请人	显示器生产服务株式会社	申请人地址	韩国京畿道变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	显示器生产服务株式会社	当前权利人	显示器生产服务株式会社
发明人	朴庸硕
代理机构	北京商专永信知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	方挺;黄谦

摘要

本发明涉及一种基板处理装置，防止存在于腔室的处理空间的流体通过旋转轴被贯通的部位流出到腔室外部。该基板处理装置包括：腔室，内部形成有处理基板的处理空间；旋转轴，从腔室的外侧贯通腔室，配置在处理空间中；支撑架，设置在腔室的内侧壁，中心处设置有由旋转轴贯通的第一贯通部；盖壳体，配置为从支撑架向腔室的内部空间的方向隔开一定距离，中心处设置有由旋转轴贯通的第二贯通部，用于在处理空间与支撑架一起支撑旋转轴；密封盖，配置在旋转轴的外周面，并配置在第二贯通部的内部空间；第一密封构件，一端配置为接触旋转轴的外周面，另一端配置在密封盖的外侧面和密封盖的内侧面之间，防止处理空间的流体沿着旋转轴流出到腔室的外部。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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