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电解剥离方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200410086029.2
  • IPC分类号:C25F5/00
  • 申请日期:
    2004-10-22
  • 申请人:
    新光电气工业株式会社
著录项信息
专利名称电解剥离方法
申请号CN200410086029.2申请日期2004-10-22
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2005-07-13公开/公告号CN1637174
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C25F5/00IPC分类号C;2;5;F;5;/;0;0查看分类表>
申请人新光电气工业株式会社申请人地址
日本长野县 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人新光电气工业株式会社当前权利人新光电气工业株式会社
发明人荻原阳子;中沢昌夫
代理机构北京市中咨律师事务所代理人林柏楠;刘金辉
摘要
本发明提供了一种电解剥离方法,该方法包括电解剥离:从银镀膜上暴露出的铜镀膜,所述银镀膜部分覆盖了在元件的整个表面上形成的铜镀膜;和利用铜镀膜作为阳极,形成于铜镀膜的暴露部分之上并且具有小于银镀膜厚度的渗漏出的银,其中,使用不含氰化合物的铜电解剥离液进行电解剥离,并且该电解剥离液包括能与银形成比银和氰的络合离子更容易解离的络合离子的化合物;并且其中,银和铜沉积在与阳极成反电极的阴极上,并且制成该阴极的金属在电解剥离液中的化学性质稳定。

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