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一种半导体芯片研磨设备

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN202120240733.8
  • IPC分类号:B24B27/00;B24B55/00
  • 申请日期:
    2021-01-28
  • 申请人:
    苏州万高半导体科技有限公司
著录项信息
专利名称一种半导体芯片研磨设备
申请号CN202120240733.8申请日期2021-01-28
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B24B27/00IPC分类号B;2;4;B;2;7;/;0;0;;;B;2;4;B;5;5;/;0;0查看分类表>
申请人苏州万高半导体科技有限公司申请人地址
江苏省苏州市工业园区汀兰巷183号沙湖科技园2栋四层D06 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人苏州万高半导体科技有限公司当前权利人苏州万高半导体科技有限公司
发明人刁垒超
代理机构苏州智品专利代理事务所(普通合伙)代理人王利斌
摘要
本实用新型公开了一种半导体芯片研磨设备,包括工作台,所述工作台的底端面四周均连接有支撑柱,所述工作台的上端面左右侧分别连接有第一支撑板,所述工作台的上端面中部连接有放置台,所述第一支撑板的上端面连接有第二支撑板,所述第二支撑板的上端面中部安装有气缸,所述工作台的底端面左右侧均安装有第二电机,使用时,将半导体芯片放置在放置台上,启动第二电机带动螺纹杆转动,螺纹杆转动带动第一滑块向上移动,从而带动限位杆左右移动,限位板将半导体芯片进行定位,需要研磨时,启动气缸,气缸工作带动研磨轮向下移动,研磨轮将与半导体芯片接触,启动第一电机,第一电机工作带动研磨轮转动,进而实现对半导体芯片进行研磨。

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