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一种蒸镀机的加热装置

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN202022701789.7
  • IPC分类号:C23C14/24;C23C14/50;C23C14/54;B08B9/087
  • 申请日期:
    2020-11-20
  • 申请人:
    山东海耀电子科技有限公司
著录项信息
专利名称一种蒸镀机的加热装置
申请号CN202022701789.7申请日期2020-11-20
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/24IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;2;4;;;C;2;3;C;1;4;/;5;0;;;C;2;3;C;1;4;/;5;4;;;B;0;8;B;9;/;0;8;7查看分类表>
申请人山东海耀电子科技有限公司申请人地址
山东省烟台市经济开发区金沙江路 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人山东海耀电子科技有限公司当前权利人山东海耀电子科技有限公司
发明人乔元武
代理机构北京金硕果知识产权代理事务所(普通合伙)代理人李丹凤
摘要
本实用新型公开了一种蒸镀机的加热装置,包括上下设置的坩埚盖加热罩和坩埚加热罩,坩埚盖加热罩上端固定连接有磁力盒,磁力盒中设置有铜导线线圈,坩埚加热罩外壁固定连接有控制器,坩埚加热罩相对的两侧端均焊接有第一搭座,坩埚盖加热罩相对的两侧端同样焊接有与第一搭座相匹配的第二搭座,第二搭座与第一搭座之间固定连接有第一电动推杆。本实用新型通过在坩埚盖加热罩上端固定连接内设铜导线线圈的磁力盒,将待镀膜的工件放置在坩埚加热罩中,对于能够被磁力吸引的工件,可将磁力盒中的铜导线线圈通电使其对工件产生向上的拉力,从而使得工件处于悬浮状态,此时可实现工件的全面的全面均匀镀膜,提高镀膜质量。

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