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表面涂覆方法及实施所述方法的装置

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201580009885.4
  • IPC分类号:B05B5/03;H01L21/02
  • 申请日期:
    2015-02-12
  • 申请人:
    皮埃尔-玛丽-居里大学(巴黎第六大学);国家科学研究中心
著录项信息
专利名称表面涂覆方法及实施所述方法的装置
申请号CN201580009885.4申请日期2015-02-12
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2017-03-22公开/公告号CN106536063A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B05B5/03IPC分类号B;0;5;B;5;/;0;3;;;H;0;1;L;2;1;/;0;2查看分类表>
申请人皮埃尔-玛丽-居里大学(巴黎第六大学);国家科学研究中心申请人地址
法国巴黎 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人皮埃尔-玛丽-居里大学(巴黎第六大学),国家科学研究中心当前权利人皮埃尔-玛丽-居里大学(巴黎第六大学),国家科学研究中心
发明人D·格罗索;B·路易斯
代理机构北京派特恩知识产权代理有限公司代理人陈万青;姚开丽
摘要
本发明涉及一种表面涂覆方法和装置,能够简单、快速且均匀地涂覆表面。所述方法包括以下步骤:A)提供待涂覆的表面(100);B)制备含有溶剂和用于覆盖待涂覆的表面的材料或其前体的溶液,该材料或其前体是非挥发性的、成膜的以及可溶性的,并且能悬浮或分散于溶剂中;C)生成步骤B)中得到的溶液的气溶胶;D)生成从管的第一端到管的第二端的气溶胶流(F),所述第二端具有预定的横截面(Se)并设置有包括出口的喷嘴,该出口具有比所述管的第二端的横截面(Se)更小的横截面(S),使得比值R1=F/S大于4米/秒,优选大于15米/秒,优选为28米/秒~45米/秒;E)将所述喷嘴的出口导向待涂覆的表面;F)将所述气溶胶喷涂到待涂覆的表面上。

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