压电悬臂梁振动能量采集器及其制备方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201010278397.2
IPC分类号：H02N2/18;B81B3/00;B81C1/00
申请日期：
2010-09-11
申请人：
上海交通大学

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	压电悬臂梁振动能量采集器及其制备方法
申请号	CN201010278397.2	申请日期	2010-09-11
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2011-01-12	公开/公告号	CN101944860A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H02N2/18 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H02 发电、变电或配电 H02N 其他类目不包含的电机 H02N2/00 利用压电效应、电致伸缩或磁致伸缩的电动机或发电机（一般产生机械振动的装置入B06B；压电的、电致伸缩的或磁致伸缩的器件一般入H01L 41/00）〔4〕 H02N2/18 从机械输入产生电输出的，例如发电机（用于测量装置的入G01）〔6〕	IPC分类号	H;0;2;N;2;/;1;8;;;B;8;1;B;3;/;0;0;;;B;8;1;C;1;/;0;0查看分类表>
申请人	上海交通大学	申请人地址	上海市闵行区东川路800号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海交通大学	当前权利人	上海交通大学
发明人	李以贵;邓勇;孙健;白万青;杨春生;刘景全
代理机构	上海交达专利事务所	代理人	王锡麟;王桂忠

摘要

一种微机电技术领域的压电悬臂梁振动能量采集器及其制备方法，装置包括：上悬臂、下悬臂、质量块和固定装置，其中：质量块位于下悬臂上的一端，固定装置固定在下悬臂上的另一端，上悬臂设置在质量块和固定装置上且与下悬臂对称，质量块与固定装置分别和上悬臂固连，固定装置与质量块间的距离为L；所述的上悬臂包括：第一支撑层、第一下电极层、第一上电极层和第一PZT层，所述的下悬臂包括：第二支撑层、第二下电极层、第二上电极层和第二PTZ层，所述的支撑层包括：第一SiO2层、Si层和第二SiO2层。本发明提高了机电转换能力，能够从机械振动中采集获得更多的电能，且制备方法可控，提高了器件生产的成功率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供