图案检查装置

发明专利无效专利

申请号：
CN200510113806.2
IPC分类号：G01N21/956;H01L21/66
申请日期：
2005-10-12
申请人：
优志旺电机株式会社

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	图案检查装置
申请号	CN200510113806.2	申请日期	2005-10-12
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2006-04-26	公开/公告号	CN1763511
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N21/956 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N21/00 利用光学手段，即利用红外光、可见光；或紫外光来测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 19/00优先） G01N21/84 专用于特殊应用的系统〔3〕 G01N21/88 测试瑕疵、缺陷或污点的存在〔3〕 G01N21/95 特征在于待测物品的材料或形状（G01N 21/89至G01N 21/91，G01N 21/94优先）〔7〕 G01N21/956 检测物品表面上的图案〔7〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;1;/;9;5;6;;;H;0;1;L;2;1;/;6;6查看分类表>
申请人	优志旺电机株式会社	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	优志旺电机株式会社	当前权利人	优志旺电机株式会社
发明人	永森进一;林宏树
代理机构	永新专利商标代理有限公司	代理人	胡建新

摘要

本发明的课题是，使布线部分与树脂薄膜部分的对比度增加，而可以通过反射照明容易地检测出布线图案。形成有布线图案的TAB带(5)，从送出卷线机(11)被卷出而送到检查部(1)。在检查部(1)中，用反射照明单元(1a)照明，用摄像单元(1b)来拍摄TAB带(5)上的检查图案。被拍摄的检查图案的图像被送到控制部(4)，与基准图案比较来判断图案是否合格。反射照明单元(1a)的光源，例如为仅发射波长大于等于500nm的光的例如红外LED。因为仅用透过TAB带(5)的波长大于等于500nm的光照射，故可以得到对比度优良的图像。另外，使载物台(1c)的红外线反射率小于等于10％，或不设置载物台(1c)，能够得到对比度更优良的图像。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
1	CN1082725A	1994-02-23	1993-06-19	在底物上形成带图案的聚酰亚胺涂膜的方法无效专利	E.I.内穆尔杜邦公司

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供